一、项目信息

采购人： 江苏海洋大学

项目名称： PEALD原子层沉积系统升级改造

拟采购的货物或服务的说明：原有系统的硬件和软件升级

拟采购的货物或服务的预算金额： 4.9万元

采用单一来源采购方式的原因及说明： 自2017年购买以来，PEALD原子层沉积系统（北京拙明科技有限公司）使用率极高，近两年使用过程中发现真空度下降，加热套老化等问题。经诊断，需要对加热腔室、加热套、快阀、电控系统以及真空管路等部件进行更新升级。该设备的升级改造，主体包括加热腔室、电控系统，这是原厂家独立设计（尺寸、形状、进气方式等），只能由原厂家进行更新升级。另外，硬件接口的控制软件是由原厂家独立开发，也只能由原厂家进行升级改造。因此该设备的升级改造采用单一来源采购。

二、拟定供应商信息

名称： 北京拙明科技有限公司

地址： 北京市平谷区林荫北街13号信息大厦802室

三、公示期限

2023年6月25日至 2023年6月30日。

四、其他补充事宜：无

五、联系方式

联系人： 李老师

联系地址： 江苏省连云港市苍梧路59号

联系电话： 0518-85895262